CKDの
フローコントロールバルブ（流量調整弁）

引用元：CKD公式HP
https://www.ckd.co.jp/

半導体製造の前工程をはじめ、薬液を扱うプロセスでは、流量を安定して管理できるかどうかが、工程の再現性や設備の稼働率を左右します。生産技術・設備保全を担う主任クラスの方にとっては、調整のしやすさに加え、高温の薬液への対応、機種選定の手間、レシピ切り替え時の遠隔での設定変更も比較の軸になります。

本ページでは、CKDの電動流量調整バルブ「MNV」の特徴と仕様を整理します。比較検討時の参考情報としてご覧ください。

CKDのフローコントロールバルブ

電動流量調整バルブ MNV

引用元：CKD公式HP
https://www.ckd.co.jp/kiki/jp/product/detail/143/

MNVの強み

MNVは、遠隔操作によって設定流量を変更できる電動式のニードルバルブです。生産品やレシピの違いに応じて流量を遠隔で調整できます。

使用できる流体温度は20℃から195℃までと幅広く、お客様の温度に合わせた機種選定の工数削減につながる点も特徴です^※1。温度条件の異なる複数の工程で、同じバルブ系列を検討できます。

構造面では、メカストッパにより弁が完全に閉じきらない仕組みを採用し、ニードルの破損を防止します。エアで内部機構を冷却することで、高温時の安定性を高めている点が強みです。

MNVの主な仕様

CKDのMNVが支持される理由

MNVの強みは、流量設定の変更を遠隔で行える運用性にあります。多品種を扱う製造ラインでは、品目ごとに流量条件が変わるため、現場での手動調整が作業負担になりがちです。遠隔操作に対応していれば、レシピ切り替え時の調整作業を省力化できるでしょう。

手動式との使い分けを検討しやすい点も特徴です。CKDにはマニュアル流量調整バルブのFMD00やLYXもラインアップされており、MNVは電動式として遠隔での設定変更を担います。頻繁に条件を変える箇所は電動式、固定条件の箇所は手動式といった切り分けを、同一メーカー内で比較できます。

関連商品が揃っている点も、設備全体を見直す際の強みです。製品ページでは、パイロット式レギュレータのPMP、マニュアル式レギュレータのPYM・PMM、マニュアル流量調整バルブのFMD00、微小流量タイプのLYX、薬液用エアオペレイトバルブのAMDシリーズなどが関連商品としてラインアップしています。

選定を支援する窓口も整っています。納期・価格・カタログ・図面については最寄りの営業所への問い合わせが案内されています。フリーアクセスは0120-771-060で、受付は平日の9:00～12:00、13:00～17:00です。比較検討の初期段階から、仕様面の疑問を直接確認できます。

事業の広がりも安心材料の一つです。1943年に設立された同社は、自動機械装置、駆動機器、空気圧制御機器、空気圧関連機器、流体制御機器などの開発・製造・販売・輸出を手がけています^※2。

CKDの
フローコントロールバルブまとめ

CKDのMNVは、遠隔で流量設定を変更できる電動式のニードルバルブです。20℃から195℃の流体温度に対応し、メカストッパによるニードル破損の防止や、エアによる内部機構の冷却も備えています。

一方で、公式ページの対象業種は半導体製造工程（前工程）です。接液部の材質や適合規格、流量範囲、使用圧力範囲は掲載がありません。導入を検討する際は、これらの条件を整理したうえで、CKDへ直接確認してください。

問い合わせ時には、取り扱う薬液の種類と温度、必要な流量と圧力、接液部の材質要件、求められるドキュメントの有無を事前にまとめておくと、確認が円滑に進みます。生産技術と設備保全の双方で条件を共有しておくことが、選定後の運用トラブルを防ぐ備えになります。

本サイトでは、流体・粉体など制御対象の性質や、衛生性・洗浄性・耐圧性などの要求条件によって、求められるバルブ構造が異なる点に着目し、用途ごとに適したフローコントロールバルブを紹介しています。用途に応じた製品を検討されている方は、ぜひ関連ページもご覧ください。

CKDの基本情報